石墨热场以及部件在单晶硅的制造中起着关键的载体作用,直拉单晶炉的热系统,也就是所谓的热场,是指为了熔化硅料,并使单晶生长保持在一定温度下进行的整个系统。热场一般包括(石墨材料)压环、保温盖、上中下保温罩、石墨坩埚(三瓣埚)、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、石墨螺栓,且为了防止漏硅,炉底、金属电极、托杆、都设置了保护板、保护套。
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石墨坩埚的生产及其本身具有以下特点:
1、生产工序比较长,每一个环节都是一个高耗能、高耗材的过程;
2、直拉单晶炉用石墨坩埚,主要采用等静压高纯石墨制成,要求精度较高,生产大尺寸石墨坩埚成型困难,加工难度大,质量难以保证;
3、石墨坩埚做成多瓣,结构复杂,连接部位磨损快,碳化硅石墨坩埚大全,容易漏硅,危害热场;
4、石墨坩埚脆性大,碳化硅石墨坩埚现货,强度低,反复急热、急冷使用时容易开裂,使用寿命比较短。
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